Микроскоп электронный просвечивающий с мини-линзами
ПЭМ 100-01

Руководство по эксплуатации

4 ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ, РЕМОНТ МИКРОСКОПА И ЕГО СОСТАВНЫХ ЧАСТЕЙ

4.1 Общие указания

Техническое обслуживание производится работниками, эксплуатирующими микроскоп, прошедшими соответствующую подготовку.

В процессе эксплуатации микроскопа в результате действия электронного пучка и оседания паров масла загрязняются внутренние поверхности колонны микроскопа. Поэтому все детали колонны, вакуумной системы, внутренние поверхности линз, а также все поверхности, находящиеся в пределах вакуумного пространства, должны быть периодически тщательно промыты и обезжирены.

Для промывки необходимо использовать растворители высокой чистоты. Рекомендуется применять петролейный эфир ТУ 6-02-1244-83, спирт этиловый ректификованный ДСТУ 4221:2003, спирт этиловый ректификованный высшей очистки (гидролизный или сульфитный) ГОСТ 18300-87.

Чистку каналов полюсных наконечников линз производить батистом, смоченным петролейным эфиром и намотанным на длинную бамбуковую палочку.

Установку чистых деталей в микроскоп производить в перчатках (капроновых или нейлоновых).

Чистку всегда необходимо организовать так, чтобы она продолжалась по возможности короткое время.

Детали и узлы, извлеченные из колонны микроскопа, хранить в эксикаторе.

Чистку смотрового стекла тубуса после извлечения его производить ватой, смоченной петролейным эфиром или спиртом.

При этом необходимо обращаться со стеклом крайне осторожно с тем, чтобы не повредить тонкую проводящую пленку, нанесенную на одну из сторон стекла. Вынимать и устанавливать смотровое стекло необходимо с помощью двух букс 8.220.120, находящихся в комплекте ЗИП.

Устанавливать стекло необходимо так, чтобы проводящая пленка была обращена внутрь тубуса (проверку правильности установки стекла производить прибором Ц4315 или аналогичным ему прибором).

4.2 Указание мер безопасности

4.2.1 К эксплуатации и техническому обслуживанию микроскопа ПЭМ-100 потребитель обязан допускать только инженеров или техников, прошедших соответствующую подготовку.

4.2.2 Защитные (съемные или открывающиеся) крышки должны быть закрыты перед включением микроскопа в сеть. Блокирующие устройства при открывании и закрывании защитных крышек микроскопа должны надежно срабатывать. Срабатывание их проверить при наладке микроскопа, при проверке технического состояния, после ремонта или проведения мероприятий технического обслуживания микроскопа.

4.2.3 Включение и выключение сети и высокого напряжения микроскопа проверять по имеющейся на микроскопе световой сигнализации.

4.2.4 При работе микроскопа необходимо выхлоп форнасоса подсоединить к магистрали отвода выхлопных газов с помощью соответствующего шланга, входящего в комплект микроскопа.

4.2.5 По окончании монтажа микроскопа, при проведении его наладки и после каждой разборки колонны микроскопа необходимо проверить мощность эквивалентной дозы неиспользуемого рентгеновского излучения в любой доступной точке колонны на расстоянии 10 sm от поверхности с помощью дозиметр-радиометра типа МКС-05 «Терра» ТУ У 33.2-22362867-006-2001 или ему аналогичного (ДРГЗ-02).

Мощность эквивалентной дозы не должна быть более 1 μSv/h (0,03 μR/s).

4.2.6 Устранение обнаруженных неисправностей и ремонт (замена) вышедших из строя деталей и узлов в процессе монтажа, наладки и эксплуатации микроскопа необходимо производить только после отключения микроскопа от сети путем рассоединения вилки входного кабеля питания микроскопа с сетевой розеткой.

4.3 Техническое обслуживание составных частей микроскопа

4.3.1 Периодичность чистки основных частей колонны указана в таблице 4.

Наименование узла	Составная часть узла	Периодичность чистки
Источник электронов	Цилиндр Венельта	При смене катода
	Изолятор	При разрядах в источнике электронов
	Анод и внутренняя поверхность корпуса источника электронов	При разрядах в источнике электронов
	Трубка канала отклоняющей системы	При появлении загрязнений и характерного накопления зарядов на них
	Постоянная диафрагма полюсного наконечника 1 конденсора	При появлении загрязнений или один раз в 12 месяцев
Конденсорный блок	Полюсный наконечник 1 конденсора	При появлении загрязнений или один раз в 12 месяцев
	Трубка с диафрагмами в канале 2 конденсора	При появлении загрязнений или один раз в 12 месяцев
	Сменные диафрагмы 2 конденсора	При появлении загрязнений
Объективная линза	Полюсный наконечник	При появлении астигматизма, превышающего допустимый
	Внутренний канал стигматора	При появления астигматизма, превышающего допустимый
	Сменные диафрагмы объектива	При внесении ими видимого астигматизма
	Сменные селекторные диафрагмы	При видимых загрязнениях
Проекционный блок	Трубка поз.1 с наконечником рисунок 10	При появлении загрязнений или 1 раз в 12 месяцев
Тубус	Смотровое стекло	При видимых загрязнениях

4.3.2 Все детали источника электронов промывать петролейным эфиром. Изолятор и окончательную промывку всех деталей источника электронов производить спиртом этиловым ректификованным ДСТУ 4221:2003.

Очистить, отполировать и промыть поверхность фокусирующего электрода с молибденовой диафрагмой.

Чистку изолятора производить при первых признаках его загрязнения (разряды в источнике электронов) особенно тщательно, для промывки применять неворсистую ткань - батист.

4.3.3 Чистку от нагара каналов полюсных наконечников производить с помощью бамбуковой палочки и батиста, смоченного в петролейном эфире или спирте. При сильном нагаре можно применять узкие полоски замши, навернутые на бамбуковые палочки.

После чистки произвести тщательную промывку полюсного наконечника петролейным эфиром, а потом спиртом с помощью шприца.

Чистку наконечников проверять с помощью лупы или бинокуляра с увеличением от 6х до 8х.

ВНИМАНИЕ! ЗАПРЕЩАЕТСЯ ПРИМЕНЯТЬ ДЛЯ ЧИСТКИ ПОЛЮСНЫХ НАКОНЕЧНИКОВ АБРАЗИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ.

Чистку постоянных диафрагм производить с помощью навернутого на бамбуковую палочку батиста, смоченного в петролейном эфире и смазанного пастой полировочной. Внутреннюю поверхность отполировать, прочистить отверстие, затем тщательно промыть с помощью шприца.

Чистку диафрагм проверять с помощью оптического микроскопа при увеличении от 15х до 20х.

Чистка стигматора объективной линзы заключается в чистке латунной втулки, которая извлекается из канала стигматора. Стигматор чистить только при обнаружении на нем нагара или других видов загрязнения.

4.3.4 Чистку диафрагм производить нагревом их в вакууме при давлении не выше 1,33∙10^-3 Ра (1∙10^-5 mm Hg), температуре от 1200 °С до 1300 °С в течение времени от 10 min до 15 min.

Температуру нагрева можно контролировать по цвету диафрагмы. Он должен быть малиново-оранжевый.

Для этих целей рекомендуется использовать вакуумный универсальный пост.

Напуск воздуха после отжига производить после охлаждения диафрагм до комнатной температуры во избежание их окисления.

4.3.5 Важным условием для нормальной работы вакуумной системы и системы охлаждения является их своевременная профилактика.

В процессе эксплуатации необходимо соблюдать следующие правила:

1) разборку и чистку маслоотражателя и диффузионного насоса со сменой рабочей жидкостью производить только при условии ухудшения рабочего вакуума и значительного увеличения времени откачки на высокий вакуум при отсутствии течи в колонне, фотокамере и высоковакуумной части микроскопа;

2) производить техническое обслуживание механического вакуумного насоса согласно паспорта;

3) производить замену вакуумной смазки в подвижных вакуумных соединениях при их разборке - сборке;

4) производить проверку системы водяного охлаждения колонны микроскопа, регулятора и вакуумной системы по потоку воды из сливных шлангов. Поток должен быть приблизительно от 2,2 L/min до 2,7 L/min в метни колонны и регулятора и приблизительно 1,0 L/min в ветви системы вакуумной (см. рисунок 18).

Для проверки потока в каждой из ветвей охлаждения надо поочередно отстыковать сливные шланги от коллектора и на их место на коллекторе ставить заглушку.

При необходимости подрегулировать поток воды клапанами VF1, VF2. Проверку потока воды производить при выключенных дифнасосе DP и питании колонны.

ВНИМАНИЕ! ПРИ РЕГУЛИРОВКЕ КЛАПАНАМИ VF1, VF2 СЛЕДУЕТ ОБРАТИТЬ ВНИМАНИЕ НА ТО, ЧТО ПРИ ВВИНЧИВАНИИ ПО ЧАСОВОЙ СТРЕЛКЕ РЕГУЛИРОВОЧНОГО ВИНТА ПОТОК УВЕЛИЧИВАЕТСЯ, А ПРИ ВЫВИНЧИВАНИИ ПРОТИВ ЧАСОВОЙ СТРЕЛКИ УМЕНЬШАЕТСЯ ВПЛОТЬ ДО ПЕРЕКРЫТИЯ ПОТОКА.

Рекомендуется один раз в 12 месяцев проверить и при необходимости очистить от солевых отложений гидрореле V1, расположенного на входе колонны микроскопа;

5) по мере загрязнения менять сменный картридж в водяном фильтре на входе системы охлаждения.

Далее — Технические параметры микроскопа, контролируемые при вводе в эксплуатацию.