Микроскоп электронный просвечивающий с мини-линзами
ПЭМ 100-01

Руководство по эксплуатации

3 ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПО НАЗНАЧЕНИЮ

3.1 Подготовка к работе

Пуско-наладочные работы по вводу микроскопа ПЭМ 100 в эксплуатацию должны выполняться квалифицированными специалистами предприятия-изготовителя.

При проведении пуско-наладочных работ специалистами, не уполномоченными предприятием-изготовителем, гарантийные обязательства утрачивают свою силу.

3.2 Размещение и монтаж

3.2.1 Помещение, где устанавливается микроскоп, должно удовлетворять требованиям ГОСТ 12.1.005-88. Система стандартов безопасности труда. Воздух рабочей зоны. Общие санитарно-гигиенические требования. План размещения микроскопа приведен на рисунке 1а.

3.2.2 Микроскоп должен устанавливаться в помещении с площадью не менее 10 m², высотой не менее 2,7 m, на первом этаже, без подвала. Вблизи помещения должны отсутствовать: оборудование, создающее вибрации (работающие станки, вентиляторы, лифты), транспортные установки, шоссе с интенсивным движением транспорта.

В помещении должны отсутствовать вредные примеси в воздухе, вызывающие коррозию металла.

3.2.3 Температура окружающего воздуха в помещении должна быть (20±5)°С, относительная влажность воздуха (65 ±15)% при температуре (20±5)°С; атмосферное давление - (100 ± 5) kPa.

3.2.4 В помещении, где устанавливается микроскоп, должны быть:

3.2.5 Расстояние до электрических установок и экранировка помещения должны быть такими, чтобы среднеквадратичное значение магнитной индукции переменного магнитного поля частоты от 50 Hz до 400 Hz на расстоянии 5 cm от поверхности колонны микроскопа не было более 0,2 μТ.

3.2.6 Вибрации пола в вертикальном и горизонтальном направлениях пола не должна быть более 0,2 mm/s в диапазоне частот от 5 Hz до 50 Hz.

3.2.7 В помещении, где устанавливается микроскоп, должны быть предусмотрены средства затемнения.

3.2.8 Стены и потолок помещения должны обладать высокой стойкостью к эрозии и разрушениям от механических воздействий, минимальным пылеприлипанием (выкрашены светлой влагоустойчивой краской).

Полы должны быть ровными, гладкими, удобными для влажной уборки.

3.3 Расположение и назначение органов управления и индикации.

3.3.1 Пульт 1 (левый):

3.3.2 Пульт 2 (правый):

Ручки на пультах 1 и 2, кроме сдвоенной ручки FOCUS, при нажатии на них изменяют плавность регулировки в 10 раз.

3.3.3 Шкаф электроники:

3.4 Включение микроскопа

Включить выключатели MAINS, COLUMN, DP на шкафу электроники. Открыть вентиль подачи воды на микроскоп. Включить компьютер, загрузить программу управления микроскопом. При загрузке программы высветится окно:

Если введены правильно имя и пароль, то после нажатия Enter высвечивается окно

Если подтвержден вариант вхождения в программу с включением питания, то питание микроскопа включится.

Если выбран вариант без включения питания, то программа управления будет загружена, но питание микроскопа не включится. Этот режим можно использовать для просмотра информации о проделанных снимках, которая хранится в Journal.

Выключение микроскопа происходит при выходе из программы управления.

3.5 Программа управления микроскопом

3.5.1 Управление микроскопом осуществляется от цифровой системы управления на базе промышленного компьютера. Программа управления «TEMINI-100» разработана в операционной среде WINDOWS-2000/XP

Программа имеет три уровня доступа через соответствующие пароли:

• - Service -максимальный уровень доступа для квалифицированного сервис-инженера. Далее те функции, которые доступны только для этого уровня, обозначаются (**);
• - Supervisor - средний уровень доступа для обслуживающего персонала. Функции, доступные Supervisor далее обозначаются (*). Эти функции также доступны для уровня Service;
• - User - ограниченный уровень доступа для пользователя. Данные функции также доступны для двух предыдущих уровней и не имеют специального обозначения.

3.5.2 Основное окно программы управления показано на рисунке 2а.

Основное окно программы управления имеет:

Дополнительные окна к основным окнам вызываются правой кнопкой «мышки», когда курсор находится на требуемом окне. После высвечивания Menu левой кнопкой «мышки» нажать Edit.

3.5.3 Окна, которые вызываются кнопками на панели управления:

3.6 Управление вакуумной системой.

3.6.1 Откачка микроскопа на высокий вакуум.

Откачка микроскопа на высокий вакуум может производиться в автоматическом или (**) ручном режиме через программу управления микроскопом TEMINI.

После загрузки программы управления с включением питания микроскоп начинает откачиваться в автоматическом режиме.

Для выбора (**) ручного режима откачки через программу управления следует вызвать окно Vacuum Control (рисунок За) кнопкой на мониторе и выбрать режим: Manual. Включение/выключение элементов вакуумной системы производится на странице Vacuum Control наведением на данный элемент курсора и нажатием левой клавиши «мышки». Контроль давления производится в окошках возле датчиков P1, Р2, РЗ.

Порядок откачки при автоматическом, а также ручном управлении следующий:

Продолжить откачку до появления надписи READY. После этого, если давление на Р1 не выше 6,7∙10^-2 (исправлено - 3,1) hPa, закрыть клапаны V4, V3, и открыть клапан V5 Откачать форбаллон до давления на Р2 не выше 6,7∙10^-2 (испр 3,0) hPa. Закрыть клапан V5, после чего открыть клапан V7.

Получить на Р1 давление не выше 6,7∙10^-2 hPa и открыть клапан V5.

Получить на Р2 давление не выше 1∙10^-1 (испр 3,1∙10^-2) hPa и открыть клапаны V4 и V6.

Через приблизительно 1 min включить датчик РЗ. При давлении порядка приблизительно 1,0∙10^-4 hPa на странице Vacuum Control появится надпись High Vacuum (высокий вакуум), а на пульте 1 (левом) Загорится светодиод VAC READY.

После достижения состояния High Vacuum дается разрешение на включение высокого напряжения и накала катода.

Если имеется состояние High Vacuum, то производится откачка выхлопа дифнасоса на форбаллон с закрытием клапана V5 и выключением пластинчато-роторного насоса RP. Этот режим имеет два пороговых значения на датчике Р2:

1) 3,1∙10^-2 hPa - происходит закрытие клапана V5 и выключение насоса RP;

2) 1,3∙10^-1 hPa - происходит включение насоса RP и после достижения на датчике Р1 давления не выше 6,7∙10^-2 hPa открытие клапана V5.

ВНИМАНИЕ! ПРИ РАБОТЕ В РУЧНОМ РЕЖИМЕ УПРАВЛЕНИЯ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМОЙ НЕОБХОДИМО СЛЕДИТЬ ЗА СЛЕДУЮЩИМИ МОМЕНТАМИ:

- ДАВЛЕНИЕ НА ДАТЧИКЕ Р2 НЕ ДОЛЖНО БЫТЬ ВЫШЕ 1,3∙10^-1 hPa, ЕСЛИ ВКЛЮЧЕН ДИФНАСОС DP И ОТКРЫТ КЛАПАН V5;

- ЕСЛИ ОТКРЫТ КЛАПАН V5, ТО НЕЛЬЗЯ ОТКРЫВАТЬ КЛАПАНЫ V1, V3, V7. ДЛЯ ИХ ОТКРЫТИЯ ДОЛЖЕН БЫТЬ СНАЧАЛА ЗАКРЫТ КЛАПАН V5.

3.6.2 Шлюзование фотокамеры

При автоматической откачке управление напуском воздуха и откачкой фотокамеры производится ручкой на дверце фотокамеры.

ВНИМАНИЕ! НАПУСК ВОЗДУХА В ФОТОКАМЕРУ ВОЗМОЖЕН ТОЛЬКО ПОСЛЕ ОКОНЧАНИЯ ОТКАЧКИ КОЛОННЫ НА ФОРВАКУУМ И ОТКРЫТИЯ ВЫСОКОВАКУУМНОГО КЛАПАНА V7.

Для напуска воздуха в фотокамеру следует провернуть ручку на открытие. После этого закроются клапаны V3, V4, шлюз V6 и включится клапан V2 напуска воздуха.

После закрытия ручкой дверцы фотокамеры включится режим откачки фотокамеры.

Закроются клапаны V2 и V5, после чего откроется клапан V3. После достижения давления на Р1 не выше 6,7∙10^-2 hPa клапан V3 закроется, а клапан V4 и шлюз V6 откроются.

3.6.3 Шлюзование объекта

Шлюзование объекта в автоматическом режиме можно производить, если горит светодиод VAC READY на пульте 1, сигнализирующий о том, что микроскоп откачан на высокий вакуум.

Вынуть держатель объекта из шлюза. Для этого нажать кнопку на рукоятке держателя, выдвинуть держатель за рукоятку до упора, затем провернуть рукоятку на 180 0 и вынуть держатель объекта из шлюза. Светодиод на корпусе шлюза должен загореться красным светом.

Сменить объект, установить держатель объекта в шлюз. Светодиод на корпусе шлюза должен загореться желтым светом, что сигнализирует о цикле откачки шлюза на форвакуум. При этом должен закрыться клапан V5 и должен быть включен насос пластинчато-роторный RP. После этого откроется клапан V1. После 20 s откачки шлюза и, если давление на датчике Р1 не выше 6,7∙10^-2 hPa, закроется клапан V1, раздастся звуковой сигнал и светодиод на корпусе шлюза загорится зеленым светом.

Проворачиванием рукоятки держателя объекта на 180° открыть шлюз и ввести держатель объекта до упора.

3.6.4 Напуск воздуха в колонну и откачка после напуска.

Напуск воздуха в колонну в автоматическом режиме производится после нажатия кнопки Ventilate на странице Vacuum control. При этом выключится датчик РЗ, закроется клапан V7. Клапан V4 и шлюз V6 должны быть открыты. После этого откроется клапан напуска V2.

Откачка в автоматическом режиме происходит после нажатия кнопки Pump column. Должны закрыться клапаны V2 и V5, после чего откроется клапан V3. После достижения давления на Р1 не выше 6,7∙10^-2 hPa закроются клапаны V3, V4, а высоковакуумный клапан V7 откроется.

После достижения на Р1 давления не более 6,7∙10^-2 hPa откроется клапан V5.

После достижения Р2 давления не выше 1∙10^-1 hPa откроется клапан V4 .

Через приблизительно 1 min включить датчик РЗ. При давлении порядка приблизительно 1,0∙10^-4 hPa на странице Vacuum Control появится надпись High Vacuum (высокий вакуум), а на пульте 1 (левом) загорится светодиод VAC READY.

3.7 Подготовка микроскопа к использованию

Механическая юстировка микроскопа выполняется на заводе-изготовителе либо квалифицированным персоналом завода-изготовителя при вводе в эксплуатацию.

Для потребителя доступны электромагнитные отклоняющие системы, управляемые через программу, посредством которых производится прецизионная юстировка микроскопа.

Для юстировки микроскопа необходимо откачать его на высокий вакуум до загорания светодиода VAC READY на пульте 1, включить питание колонны нажатием кнопки Column в программе управления, выбрать режим работы Main либо Contrast.

Вывести по ходу пучка все вводимые диафрагмы: конденсорную апертурную объектива, селекторную, а также вынуть из колонны держатель объекта.

3.8 Юстировка отклоняющей системы пушки (*)

Включить режим больших увеличений (High Magnification), установить увеличение не более 10 000х.

Вызвать окно Illumination Deflection и выключить первый и второй этажи системы (I level, II level). Вызвать окно Gun Alignment.

Включить высокое напряжение на выбранной ступени. Включить накал катода. Регулируя величину кода накала и смещения в окне управления высоким напряжением получить ток эмиссии от 10 μА до 20 μА.

Регулируя ручки SHIFT X,Y и X, Y получить на смотровом экране светящееся пятно.

Для облегчения поиска можно вызвать окно Lenses, выключить линзу Р4, произвести поиск пучка и после его получения снова включить линзу Р4. В процессе поиска следует регулировать яркость на экране ручкой BRIGTNESS. При поиске пучка можно также установить недокаленное состояние катода, уменьшив величину кода накала, произвести поиск ручками SHIFT X,Y и X, Y. После получения светящегося пятна на смотровом экране повышать величину кода накала и ручками SHIFT X, Y и X, Y доводить его до максимальной яркости. При большой яркости на экране во избежание его выгорания следует уменьшать ток пучка регулировкой величины смещения.

Регулируя ручки SHIFT X,Y, X, Y и BRIGTNESS получить сфокусированный пучок в центре смотрового экрана.

Ручкой BRIGTNESS развести пучок на весь смотровой экран, ввести конденсорную диафрагму и отъюстировать её, добиваясь симметричности расхождения пучка относительно центра экрана при регулировке ручкой BRIGTNESS. Если при фокусировке пучка ручкой BRIGTNESS наблюдается астигматизм освещения, то следует вызвать окно Illumination Stigmator и

ручками X,Y устранить астигматизм, после чего, возвратить окно Gun Aligment.

Сфокусировать пучок ручкой BRIGTNESS. Уменьшая величину кода накала катода получить недокаленное состояние катода - ореол катода. Ручками SHIFT X,Y, X,Y добиться симметричного изображения ореола катода в центре смотрового экрана, после чего увеличить код накала катода и довести его до насыщения.

Окно Gun Alignment имеет свои значения кодов Shift и Tilt на каждой ступени Spot size, поэтому регулировку симметричного ореола катода произвести поочередно на всех ступенях. При этом при переходе на соседнюю ступень вначале установить коды, которые были на настроенной ступени, поскольку коды на соседних ступенях сильно меняться не будут.

После юстировки отклоняющей системы пушки вызвать окно Illumination Deflection, включить первый и второй этажи (1 level 2 level) и ручками SHIFT X, Y установить сфокусированный пучок на центр экрана.

Юстировка отклоняющей системы пушки производится после каждой замены катода.

Прецизионная юстировка по симметричному изображению ореола в недокаленном состоянии катода производится периодически но мере необходимости.

3.9 Настройка Illumination Deflection (**)

Получить изображение в режиме больших увеличений при увеличениях не более 10000*.

Вызвать окно Illumination Deflection и затем правой кнопкой «мышки» дополнительное окно.

Сфокусировать ручкой BRIGTNESS пятно освещения и ручками SHIFT X,Y установить его на центр экрана. Включить воблер настройки

отклоняющей системы по направлению X. При этом на экране появятся два разнесенных пятна. Регулировкой коэффициентов Ratio и Comp по X совместить два луча в один. Выключить воблер по X.

Аналогично настроить отклоняющую систему по Y направлению.

Данная настройка выполняется отдельно для основного и контрастного режимов работы.

3.10 Выставление наклона освещения на объекте

Применяются два следующих способа выставления наклона луча на объекте относительно оптической оси объектива: по Objective Wobbler и по ЕНТ Wobbler.

Для выставления наклона по Objective Wobbler следует установить объект и сфокусировать его изображение при увеличении не более 30 000х.

Вызвать окно Wobblers и окно Illumination Deflection. В окне Wobblers включить Objective Wobbler. При этом накладывается переменная составляющая на ток объективной линзы и происходит вращение изображения вокруг точки, называемой центр вращения.

Регулируя ручки X,Y совместить центр вращения с центром экрана, после чего выключить Objective Wobbler.

Для выставления наклона по ЕНТ Wobbler включить ЕНТ Wobbler. При этом накладывается переменная составляющая на ускоряющее напряжение и происходит радиальное перемещение изображения относительно точки, которая называется вольтов центр.

Ручками X,Y совместить вольтов центр с центром экрана. Более точно выставить вольтов центр при увеличениях от 200 000x до 300 000x. Если при регулировке ручками X,Y освещающий пучок перемещается по экрану, то необходимо проверить настройку Illumination Deflection согласно 3.9.

3.11 Юстировка Illumination Shift System (**)

В проекционном блоке в линзе Р3 имеется отклоняющая система, с помощью которой производится прецизионная юстировка.

Для юстировки следует в дифракции получить изображение дифракционной картины. Вызвать окно Image Shift System и ручками X,Y установить центральный рефлекс на центр смотрового экрана на каждой ступени длины камеры.

Ввести и отцентрировать относительно центрального рефлекса аппертурную диафрагму объективной линзы.

Перейти в Image и на ступени максимального увеличения High Magnification установить на центр смотрового экрана деталь изображения. Затем уменьшать увеличение и на каждой ступени установить ручками X, Y эту деталь изображения на центр смотрового экрана.

После перехода на ступени Low Magnification установить на центр экрана изображение аппертурной диафрагмы.

Юстировку Image Shift System необходимо провести в режимах Main и Contrast с соответствующими держателями объектов.

3.12 Настройка центровки Illumination Stigmator, Objective Stigmator, Projective Stigmator (**)

3.12.1 Настроить электрическую центровку Illumination Stigmator. Установить увеличение от 10 000х до 20 000х. Вызвать дополнительное окно Illumination Stigmator. Сфокусировать пятно освещения и немного его расфокусировать. Нажать в окне кнопку X. Резисторами Cond. Stigm. Centering XI, Х2 на устройстве соединительном совместить два вытянутых изображения пятна в одно симметричное скрещенное изображение. Для доступа к устройству соединительному необходимо снять кожуха сзади колонны микроскопа.

Аналогично настроить Y направления, выполняя регулировку резисторами Cond. Stigm. Centering Yl, Y2.

3.12.2 Настроить электрическую центровку Objective Stigmator. Центровка стигматора объектива производится после выставления наклона луча по ЕНТ Wobbler. Установить увеличение от 20 000" до 40 000х.

Установить в центр экрана контрастную деталь изображения. Вызвать дополнительное окно Objective Stigmator. Нажать в этом окне кнопку X. На экране появится раздвоенное изображение. Резисторами Obj. Stigm. Centering X1, Х2 на устройстве соединительном совместить изображения. Аналогично настроить Y направление.

3.12.3 Настроить электрическую центровку Projective Stigmator. Установить длину камеры 1000 mm. Получить изображение каустики диаметром от 5 mm до 10 mm. Вызвать дополнительное окно Projective Stigmator и нажать в нем кнопку X. Резисторами Proj. Stigm. Centering XI, Х2 на устройстве соединительном совместить раздвоенное изображение каустики в одно симметричное скрещенное изображение. Аналогично настроить Y направление.

3.13 Работа с воблером Focus Aid и режимом Underfocus

Настройка воблера Focus Aid производится после настройки Illumination Deflection согласно 3.9.

Установить режим дифракции с длиной камеры от 1 ООО mm до 2 ООО mm. Получить изображение дифракционной картины. Установить и отцентрировать первую аппертурную диафрагму. Вызвать окно Wobblers, Amplitude установить - 1 положение. Нажать кнопку FOCUS AID на пульте 2. Регулировкой величины Amplitude 400 установить состояние, когда расстояние между раздвоенными центральными рефлексами равно 2/3 диаметра диафрагмы.

Аналогичную настройку произвести для второй и третьей аппертурных диафрагм, устанавливая соответственно положения Amplitude на 2 и 3.

Для фокусировки с использованием воблера Focus Aid следует получить изображение на требуемой ступени увеличения и включить воблер кнопкой FOCUS AID. Если изображение не сфокусировано, то произойдет его раздвоение. Ручкой FOCUS совместить раздвоенное изображение, после чего повторным нажатием кнопки FOCUS AID выключить воблер фокусировки.

В окне Wobblers можно переключать Direction направление вобблера Х или Y, чтобы лучше увидеть раздвоенное изображение.

Изображение объектов, особенно биологических, имеет более четкий, контрастный вид не точно в фокусе, а в недофокусированном состоянии. В программе имеется функция автоматического выставления недофокусировки после выключения воблера Focus Aid. Для этого следует на мониторе включить Underfocus и выбрать один из режимов недофокусировки, которые отличаются величиной недефокусировки (3 - самая большая). Режим недофокусировки подобрать для исследуемых образцов экспериментально.

Если при включенном режиме Undefocus включить кнопку FOCUS AID, провести фокусировку изображения, а затем выключить кнопку FOCUS AID, то автоматически произойдет уменьшение кода в объективной линзе по отношению к сфокусированному состоянию. Это уменьшение определяется режимом недофокусировки (1, 2 и 3), а также ступенью увеличения. При повышении увеличения величина недофокусировки уменьшается.

3.14 Работа в светлопольном режиме

Включить режим больших увеличений (High Magnification) и получить изображение на необходимой ступени увеличения.

Включить кнопку Bright на мониторе. Произвести юстировку наклона луча по Objective Wobbler или ЕНТ Wobbler согласно 3.10.

Включить режим дифракции кнопкой DIFF на пульте 1. Ручками BRIGTNESS пульта 1 и FOCUS пульта 2 сфокусировать дифракционную картину.

Ввести аппертурную диафрагму объективной линзы и установить ее симметрично относительно центрального рефлекса.

Снова включить режим изображения кнопкой Image на пульте 1. При этом на ступенях High Magnification на экране микроскопа будет наблюдаться светлопольное изображение объекта.

3.15 Работа в тсмнопольном режиме

Получить изображение в светлопольном режиме, как описано в 3.14. Вызвать окно Illumination Deflection.

Переключая кнопки Bright, Dark установить ручками X,Y в ЦАПах Tilt X,Y значения в режиме темного поля (Dark) такие же, как в режиме светлого поля (Bright).

Такая регулировка является начальной для дальнейшего наклона луча.

Включить режим дифракции Dark и при вызванном окне Illumination Deflection ручками X, Y вывести на центр аппертурной диафрагмы объективной линзы необходимый дифракционный рефлекс.

Включить режим изображения. При этом на экране микроскопа будет наблюдаться темнопольное изображение объекта. Перефокусировать в обе стороны от сфокусированного состояния освещение ручкой BRIGTNESS. Если при наклоне луча появился астигматизм освещения, то скорректировать его, вызвав для этого окно Illumination Stigmator и отрегулировать ручками X, Y.

3.16 Коррекция астигматизма объектива

3.16.1 Разрешающую способность микроскопа часто ограничивает приосевой астигматизм объективной линзы. При наличии приосевого астигматизма линза обладает различной преломляющей силой в различных радиальных плоскостях. Существуют две взаимноперпендикулярные радиальные плоскости, в одной из которых фокусное расстояние максимально, а в другой - минимально.

Приосевой астигматизм оценивают так называемой астигматической разностью фокусных расстояний. При этом для получения высокого разрешения астигматическая разность фокусных расстояний должна быть минимальной. Основными причинами возникновения астигматизма являются отступление геометрической формы полюсных наконечников от осевой симметрии в результате неточного изготовления и магнитная неоднородность материала полюсного наконечника.

Влияние этих причин в процессе эксплуатации микроскопа остается неизменным.

Допустимая величина астигматизма полюсного наконечника не должна превышать 0,8 μm. Для оценки величины астигматизма полюсного наконечника вывести аппертурную диафрагму объективной линзы, установить тест-объект "Угольная пленка с отверстиями". Получить и сфокусировать изображение отверстия в пленке при увеличении от 100 000х до 200 000х и ускоряющем напряжении от 75 kV до 100 kV. Отключить разъем стигматора объективной линзы. Определить астигматическую разность фокусных расстояний, поочередно фокусируя края отверстия в направлениях минимального и максимального астигматизма. Величину астигматизма определить умножением значения щелчка ручки FOCUS, которое индицируется в окне режима работы на количество щелчков ручки FOCUS. Необходимо помнить, что на астигматизм полюсного наконечника объектива влияют загрязнения полюсного наконечника, которые образуются под действием электронного пучка.

После оценки величины астигматизма полюсного наконечника подключить разъем стигматора объективной линзы.

3.16.2 Коррекция астигматизма в микроскопе производится при вызванном окне Objective Stigmator. Стигматор объективной линзы представляет собой две регулируемые квадрупольные линзы, оптическая сила и ориентация которых регулируются оператором изменением кодов в ЦАПах X, Y ручками X, Y на пультах. Пользуясь описанным методом обнаружения астигматизма, следует так подобрать величину кодов, чтобы наступила полная компенсация астигматизма объектива.

Величина астигматизма со временем меняется вследствие образования углеводородистых пленок и других загрязнений. Следовательно, по изменению величины кодов в ЦАПах стигматора объектива можно судить о состоянии микроскопа.

Качество стигмирования оценивается визуально наблюдением тест-объекта. В качестве тест-объекта рекомендуется использовать пленку, изображение которой достаточно контрастно.

В пленке должны быть сквозные круглые отверстия с ровными краями диаметром не более 0,5 μm. Коррекцию астигматизма производить в следующем порядке.

Ввести тест-объект «Угольная пленка с отверстиями».

Ввести и отцентрировать аппертурную диафрагму объективной линзы.

Установить увеличение, при котором исследуется объект.

Поднять экран для фокусировки изображения.

Установить бинокуляр и вывести ручками перемещения объекта на середину смотрового экрана изображение одного из круглых отверстий, которое полностью помещается в поле зрения бинокуляра.

Слегка перефокусировать изображение, чтобы стали видны кольца Френеля.

Определить по расположению колец Френеля ориентацию астигматизма объективной линзы.

Кнопкой вызвать окно Objective Stigmator. Вращая ручки X и Y скомпенсировать астигматизм объективной линзы. Об устранении астигматизма свидетельствует замкнутое симметричное кольцо Френеля вокруг краев отверстия при минимальной перефокусировке изображения. Если при стигмировании стигматор водит изображение, следует произвести его центровку согласно 3.12.2.

Переключение 1-2-3 вызывает три независимые памяти кодов в стигматоре объектива.

3.17 Работа в режиме микродифракции

3.17.1 Получить и сфокусировать изображение исследуемого образца, выбрать интересующий участок объекта, вывести его на середину экрана приводами перемещения стола.

Удалить с оптической оси апертурную диафрагму объективной линзы.

Включить режим дифракции кнопкой DIFF на пульте 1.

Необходимую длину дифракционной камеры установить с помощью кнопок MAGNIFICATION/CAMERA LENGTH.

С помощью ручки FOCUS на пульте 2 получить каустику и при необходимости отстигмировать ее.

Для этого вызвать окно Projective Stigmator и ручками X, Y на пультах получить симметричное трехлучевое изображение каустики.

Ручками FOCUS и BRIGTNESS сфокусировать изображение дифракционной картины.

С помощью устройства для перекрытия центрального рефлекса на тубусе перекрыть центральный рефлекс.

3.17.2 Для получения дифракции от выбранного участка (микродифракции) следует при увеличении от 10 000х до 40 000х вывести на центр экрана одну из селекторных диафрагм. Далее перейти в режим дифракции и сфокусировать дифракционную картину ручками FOCUS и BRIGTNESS.

Произвести фотографирование в ручном режиме выбора времени экспозиции.

3.18 Фотографирование изображения

3.18.1 Включить в окне Exposure автоматический режим определения времени экспозиции Auto.

В этом же окне в строке unused 3 установить количество заряженных кассет.

3.18.2 Вызвать дополнительное окно Photo edit правой кнопкой «мышки». Выбрать требуемый режим работы фотокамеры из двух возможных:

- Single - единичная подача кассет;

- Double - экспонирование двух изображений на одну кассету. Этот режим может применяться при определении дрейфа или зарастания объекта.

В строке Sensitivity ввести чувствительность фотоматериала (от 1 до 20, первое положение - самая низкая чувствительность). В строке Marking ввести время маркировки.

Оптимальное значение чувствительности и времени маркировки определить экспериментально, сделав ряд пробных снимков.

Необходимые комментарии к объекту можно ввести с клавиатуры компьютера в строку Comments.

Комментарии и условия эксперимента хранятся в памяти компьютера под соответствующим номером эксперимента (номером кадра).

3.18.3 Съёмку производить двойным нажатием кнопки EXPOSURE. Двойное нажатие введено для предохранения от случайного нажатия на кнопку. При одинарном нажатии на мониторе появится запрос - надо ли производить экспонирование. Если нажатие было случайным, то экспонирование можно отменить.

При проведении фотографирования изображения объекта рекомендуемое время экспозиции от 1 s до 3 s. Это время можно подбирать, регулируя яркость освещения ручкой BRIGTNESS на пульте 1.

3.19 Работа с координатным устройством

3.19.1 Координатное устройство предназначено для быстрого нахождения ранее просмотренного и запомненного участка объекта.

3.19.2 Для работы с координатным устройством вызвать окно Stage Coordinets кнопкой.

Выбрать на объекте интересующий участок и записать в память координаты этого участка нажатием кнопки Memo. Таких участков можно записать до 25.

3.19.3 Если в процессе исследования вновь возникнет необходимость установить под луч интересующий участок объекта, следует установить его координаты в верхнюю строку и приводами стола установить текущие координаты такие, как запомнены.

3.19.4 Для стирания координат ранее записанных участков нажать кнопку Clear АН.

3.20 Смена катода

3.20.1 Предпосылкой к смене катода является его перегорание, что определяется по отсутствию тока накала в строке Current и тока в строке Emission Current при включении накала катода кнопкой FILAMENT в окне управления ускоряющим напряжением и накалом.

Для смены катода - выключить накал катода кнопкой FILAMENT и ускоряющее напряжение кнопкой High Voltage.

Кнопкой вызвать окно Vacuum Control. В окне нажать кнопку Ventilate и напустить воздух в колонну.

Перед напуском воздуха в колонну - вывести сменные диафрагмы объектива и конденсора и вынуть из каретки стола держатель объекта.

Если был залит азот в ловушку стояка вакуумной системы или устройство защиты от загрязнения - удалить азот и разморозить ловушку.

3.20.2 Поднять подъемником изолятор с блоком катодным и снять блок катодный, как описано в 2.1.2.

В блоке катодном (рисунок 5) ослабить винт 6 и отвинтить цилиндр Венельта 5. В цилиндре Венельта с помощью ключа 8.889.121 отвинтить втулку 7 и вынуть молибденовую диафрагму 8 .

С помощью этого же ключа вывинтить прижимную втулку 2 из корпуса 1, ослабить винты 3 и вынуть катод 4. Произвести чистку и мойку деталей катодного узла.

Установить новый катод и зафиксировать его втулкой 2.

Вместо цилиндра Венельта ввинтить устройство для центровки катода 6.063.738 и винтами 3 отцентрировать катод.

Вывинтить устройство и завинтить цилиндр Венельта таким образом, чтобы конец катода находился на уровне плоскости молибденовой диафрагмы. После этого вывинтить цилиндр Венельта так, чтобы расстояние между кончиком катода и молибденовой диафрагмой было 0,45 mm, как показано на виде А (рисунок 5). Для этого заметить положение рисок на цилиндре Венельта. Их имеется 5 штук при шаге резьбы 0,5 mm. Произвести вывинчивание из расчета - вывинчивание на одну риску равно понижению катода на 0,1 mm. Зафиксировать цилиндр Венельта винтом 6, проверить окончательно центровку катода по его положению в отверстии молибденовой диафрагмы и при необходимости поправить винтами 3.

Установить блок катодный в изолятор и опустить изолятор в пушку, как описано в 2.1.2.

Нажать в окне Vacuum Control кнопку Pump column и произвести откачку колонны на высокий вакуум.

После получения рабочего вакуума, о чем сигнализирует светодиод VAC READY на пульте 1, произвести юстировку отклоняющей системы пушки, как описано в 3.8.

3.21 Выключение микроскопа

3.21.1 Отжать кнопки Filament, High Voltage и Column на экране монитора.

3.21.2 Выйти из программы, для чего нажать кнопку X в окне общего управления микроскопом. После подтверждения этой команды произойдет программное выключение вакуумной системы. После отработки программы выключения вакуумной системы, компьютер закроет программу управления микроскопом, после чего можно произвести выключение компьютера.

Закрыть подачу воды на микроскоп. Если подача воды производилась от автономной системы охлаждения, которая включена в розетку на шкафе электроники, то при выходе из программы управления будет выключена и система охлаждения.

3.22 Действие в экстремальных условиях

К экстремальным относятся следующие ситуации:

При пожаре принять срочные меры к обесточиванию микроскопа путем отключения электропитания выключением на шкафу электроники (смотри 3.3.3) выключателя MAINS или внешним выключателем сети, в которую включен микроскоп. Тушение осуществлять углекислотным огнетушителем и плотной тканью. Тушение водой и песком недопустимо вследствие порчи изделия.

При неполадках в электротехническом оборудовании - обесточить микроскоп, предварительно осуществив, если это возможно, корректное завершение работы микроскопа выключением программы управления микроскопа.

Далее — Техническое обслуживание, ремонт микроскопа и его составных частей.